特許

J-GLOBAL ID：200903048495330751

リンス液、リンス液を用いた洗浄方法、および洗浄の対象となる感光性樹脂前駆体組成物

発明者： 奥田 良治 ,  藤田 陽二 ,  諏訪 充史 ,  富川 真佐夫
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-210589
公開番号（公開出願番号）：特開2003-114538
出願日： 2002年07月19日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：

【要約】【課題】感光性樹脂前駆体組成物を基板に塗布する方法において感光性樹脂前駆体組成物の基板裏面、基板端縁部等の洗浄が良好なリンス液を提供する。【解決手段】n種類の溶剤からなるリンス液で、成分iの混合重量比をxi、Fedors法により算出した溶解度パラメーターをδiとしたとき、9≦Σxiδi≦12を満たすことを特徴とする感光性樹脂前駆体組成物除去用のリンス液。

請求項（抜粋）：

n種類の溶剤からなるリンス液で、成分iの混合重量比をxi、Fedors法により算出した溶解度パラメーターをδiとしたとき、9≦Σxiδi≦12を満たすことを特徴とする感光性樹脂前駆体組成物除去用のリンス液。

Fターム (5件)：

2H096AA25 ,  2H096BA20 ,  2H096DA10 ,  2H096LA03 ,  2H096LA16