特許

J-GLOBAL ID：200903048505292837

液晶駆動装置およびその製造方法

発明者： 田 中 裕 久 ,  中 園 卓 志
出願人/特許権者： 東芝電子エンジニアリング株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-284993
公開番号（公開出願番号）：特開平10-133226
出願日： 1996年10月28日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】 液晶表示装置の製造装置の汚染を防止すると共に、補助容量部分の耐圧改善とリーク電流低減を実現し、またゲート電極配線と補助容量配線の間の短絡不良を低減する。【解決手段】 ガラス基板1の上にアンダーコーティング膜2を介してポリシリコンからなる活性層3を形成し、その上にゲート絶縁膜4を介してゲート電極5を形成し、更に活性層の上からイオンドーピングにより不純物を注入して、低濃度ドナー領域6、高濃度ドナー領域8、アクセプタ領域10を形成して、薄膜トランジスタ及び補助容量の一部を形成し、その上から全体にCs絶縁膜17とMoTa18を成膜し、MoTa18を加工してCs電極9を形成することにより、薄膜トランジスタを構成するゲート絶縁膜4と、Cs電極9を載せているCs絶縁膜17を別々の層として、ゲート電極5とCs電極9の間の耐圧を高め、プロセスにおけるポリイミドなどの有機材料の使用を不要としている。

請求項（抜粋）：

駆動対象となる液晶表示素子に駆動電圧を与えるべく、絶縁基板上に形成され津少なくともひとつの薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタの少なくともひとつの出力電荷を保持するべく前記絶縁基板上に形成される第1の絶縁膜を含む補助容量と、前記薄膜トランジスタに駆動信号を与えるべく、前記第1の絶縁膜と別工程で作られる第2の絶縁膜を介して配置される少なくともひとつの信号線と、を備えることを特徴とする液晶駆動装置。

IPC (4件)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (4件)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 29/78 612 B ,  H01L 29/78 616 A