特許

J-GLOBAL ID：200903048510721690

測定・加工方法および測定・加工装置

発明者： 細井 啓一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-158107
公開番号（公開出願番号）：特開平10-002718
出願日： 1996年06月19日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】 測定・加工雰囲気の均一性を確保しつつ、振動による測定・加工の精度低下を回避することができる測定・加工方法および測定・加工装置を提供する。【解決手段】 送風機201により均一性を高めた雰囲気中で測定制御部100による測定を行う測定方法において、パターン1Aの座標を測定する直前に送風機201の送風能力を低下させ、これにより測定制御部100に与える振動を低減する。

請求項（抜粋）：

送風手段により均一性を高めた雰囲気中で測定手段による測定を行う測定方法において、前記送風手段により測定雰囲気の均一性を高めた後、前記測定手段による測定の直前に前記送風手段の送風能力を低下させ、前記送風手段による振動の発生を抑制した状態において測定を行うことを特徴とする測定方法。

IPC (5件)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G01D 21/00 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

G01B 11/00 G ,  G01B 9/02 ,  G01D 21/00 M ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/68 F