カンチレバーチップホルダー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-309419
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159422
出願日： 1993年12月09日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】カンチレバー先端の振動のみを高精度に検出することができるカンチレバーチップホルダーを提供する。【構成】支持部12と、その基端部が支持部12によって支持された板材(即ちシム)14と、この板材14の先端部下面に設けられたカンチレバーチップ16と、板材14の先端部上面に設けられ、所定の電圧を印加することによって、板材14の先端部を所定方向に振動させる振動部材18と、支持部12と板材14との間に介在され、板材14の先端部で発生した振動が支持部12に伝達されないように、上記振動を減衰させる振動減衰素材20とを備えている。

請求項（抜粋）：

支持部と、前記支持部によって支持された板材と、この板材上に設けられたカンチレバーチップと、前記板材上に設けられ、所定の電圧を印加することによって、前記板材を所定方向に振動させる振動部材と、前記支持部と前記板材との間に介在され、前記板材から発生した振動が前記支持部に伝達されないように、上記振動を減衰させる振動減衰素材とを備えていることを特徴とするカンチレバーチップホルダー。

IPC (4件)：

G01N 37/00 , G01B 7/34 , G01B 21/30 , H01J 37/28

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平4-122806
走査力顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-046345 出願人：トポメトリックス
特開昭63-309802

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