特許
J-GLOBAL ID：200903048520967921

脱気装置及び同脱気装置を備えた超音波洗浄装置

発明者：
柴野 佳英

柴野 佳英 について


出願人/特許権者：
株式会社マイクロ・ギャラクシー

株式会社マイクロ・ギャラクシー について


代理人 (1件)： 片岡 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-099545
公開番号（公開出願番号）：特開2000-288307
出願日： 1999年04月07日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、例えば超音波洗浄装置に使用される洗浄液から真空脱気する際、発生する泡に含まれる気体が再溶解するのを防止する。【解決手段】 真空脱気筒4の下流に真空の消泡筒6を接続し、脱気筒4で発生するシャボン玉状の泡を消泡筒6に送り込む。そして消泡筒6内に収容したレベルゲージ16によって泡のレベルを検知し、発熱線17を発熱させるとともに、この発熱線17に泡に接触させて破裂させ、内部の気体を真空ポンプ8で吸引し、液体を回収して洗浄槽12に戻す。
請求項（抜粋）：
真空状態で泡が発生する液体中から溶解気体等を除去するため、発熱体を収容した真空容器を設け、この真空容器内に前記液体を導入し、泡を発熱体に接触させて破壊するようにしたことを特徴とする脱気装置。
IPC (3件)：
B01D 19/02 ,  B01D 19/00 101 ,  B08B 3/12
FI (3件)：
B01D 19/02 ,  B01D 19/00 101 ,  B08B 3/12 A
Fターム (11件)：
3B201BB04 ,  3B201BB82 ,  3B201BB83 ,  3B201BB92 ,  3B201BB94 ,  3B201CC21 ,  3B201CD22 ,  4D011AA16 ,  4D011BA09 ,  4D011BA12 ,  4D011BA16
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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