表面検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-336568
公開番号（公開出願番号）：特開平11-153547
出願日： 1997年11月21日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：

【要約】【課題】大きな異物で散乱に指向性があっても、正確に検査が行える表面検査装置を提供することである。【解決手段】光を検査対象物の表面に走査して検査対象物の表面上の異物を検査する表面検査装置において、感度の異なる2個以上のセンサーを異なる位置に配置し、低感度用のセンサーにアクティブスライスを設定し、そのアクティブスライスを、高感度用のセンサーのスレッショルド信号レベルよりも高いレベルに設定する表面検査装置。

請求項（抜粋）：

光を検査対象物の表面に走査して検査対象物の表面上の異物を検査する表面検査装置において、感度の異なる2個以上のセンサーを異なる位置に配置し、低感度用のセンサーにアクティブスライスを設定し、そのアクティブスライスを、高感度用のセンサーのスレッショルド信号レベルよりも高いレベルに設定することを特徴とする表面検査装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-336701 出願人：株式会社ニコン

前のページに戻る