特許

J-GLOBAL ID：200903048532316780

曲率半径測定方法及び装置

発明者： 森田 展弘
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 園田 敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-021723
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228426
出願日： 2001年01月30日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】干渉を用いた曲率半径測定方法における被検面と対物レンズとの間隔の目視調整に伴う誤差を除去する。【解決手段】レンズ9と被検面10aとの相対間隔を変化させる手段(不図示)と相対間隔を検知する間隔検知手段(不図示)、並びに干渉縞を画像として取り込むCCDカメラ13を設け、間隔検知手段からの出力をもとに仮想的に生成した形状と、レンズによる集光点を被検面の頂点と略一致させたときに生じる干渉縞から求めた前記集光点との一致誤差に起因する仮想的に生成した形状と、レンズによる集光点を被検面の曲率中心と略一致させたときに生じる干渉縞から求めた前記集光点と曲率中心との一致誤差に起因する仮想的に生成した形状とに基づき、曲率半径を求める。

請求項（抜粋）：

被検面に収束、あるいは発散光を照射する照射光学系と、被検面からの反射光を干渉させるための干渉光学系と、干渉縞を画像として結像させる結像光学系と、前記照射光学系と被検面との相対間隔を変化させるための手段と、前記照射光学系と被検面との相対間隔を検知するための間隔検知手段と、干渉縞を画像として取り込むための複数の画素にて構成された受光手段と、間隔検知手段との出力をもとに被検面の曲率半径を計算するための計算器とを用いた曲率半径測定方法において、前記間隔検知手段からの出力をもとに仮想的に生成した形状と、前記照射光学系による集光点を被検面の頂点と略一致させたときに生じる干渉縞から求めた前記集光点と頂点との一致誤差に起因する仮想的に生成した形状と、前記照射光学系による集光点を被検面の曲率中心と略一致させたときに生じる干渉縞から求めた前記集光点と曲率中心との一致誤差に起因する仮想的に生成した形状と、をもとに、前記集光点と頂点並びに集光点と曲率中心との一致誤差の影響を除去する曲率半径を得る曲率半径測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/255 ,  G01B 11/24 ,  G06T 7/60 150

FI (3件)：

G06T 7/60 150 G ,  G01B 11/24 M ,  G01B 11/24 K

Fターム (18件)：

2F065AA52 ,  2F065CC22 ,  2F065FF04 ,  2F065FF51 ,  2F065GG05 ,  2F065HH01 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU05 ,  5L096AA03 ,  5L096AA06 ,  5L096BA20 ,  5L096CA02 ,  5L096CA14 ,  5L096DA02 ,  5L096FA68 ,  5L096GA28