特許
J-GLOBAL ID:200903048532456434

ガス流量計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 富澤 孝 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-100406
公開番号(公開出願番号):特開平8-271313
出願日: 1995年03月30日
公開日(公表日): 1996年10月18日
要約:
【要約】【目的】 流体に脈動が発生した場合でも計測に影響の少ないガス流量計を提供すること。【構成】 ガス流量計は、流量Qが規定値未満の小流量流域ではICフローセンサ28で計測を行い、流量Qが規定値以上の領域ではフルイディック式流量計で計測を行うガス流量計であって、流量Qが規定値以上の領域で、ICフローセンサ28に所定の周期で電流を流して、流量計測を行うサンプリングプログラム25と、サンプリングプログラム25が計測した流量に変動があるか否かを判定する変動判定プログラム26と、変動判定プログラム26が変動有りと判定したときに、流量Qが規定値以上であっても、ICフローセンサ28により流量計測を行うようにする流量計切替えプログラム27とを有する。
請求項(抜粋):
計測用ノズルの下流に配置され、流体を左右に分流して流体に圧力振動を発生させるターゲットと、ターゲットにより分流された流体の圧力を計測する圧電素子と、圧電素子により計測した流体の圧力振動の周波数より流量を算定する流量算定手段とを備えるフルイディック式流量計と、熱線式流量計とを有し、流量が規定値未満の小流量流域では熱線式流量計で計測を行い、流量が規定値以上の領域ではフルイディック式流量計で計測を行うガス流量計において、前記流量が規定値以上の領域で、前記熱線式流量計に所定の周期で電流を流して、流量計測を行うサンプリング手段と、前記サンプリング手段が計測した流量に変動があるか否かを判定する変動判定手段と、前記変動判定手段が変動有りと判定したときに、前記流量が規定値以上であっても、前記熱線式流量計により流量計測を行うようにする流量計切替え手段とを有することを特徴とするガス流量計。
IPC (3件):
G01F 7/00 ,  G01F 1/20 ,  G01F 1/68
FI (3件):
G01F 7/00 ,  G01F 1/20 E ,  G01F 1/68

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