特許

J-GLOBAL ID：200903048538012295

プラズマディスプレイパネルのバリアリブ形成法

発明者： 有本 浩延 ,  大福 健司
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-290304
公開番号（公開出願番号）：特開平6-139922
出願日： 1992年10月28日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】 この発明は、バリアリブを高精度に形成できる作業性の良いバリアリブ形成方法を得る事を目的とする。【構成】 パターンマスクを介して感光性有機フィルムを露光し、現像して所定のパターンを形成した後に熱処理を行い、しかる後、パターン間に黒色ガラスペーストを埋め込み低温乾燥させ、バリアリブの形状を保持するための保護材を塗布し、外力に対するバリアリブの形状の保護を行い、さらに有機フィルムとガラスペースト(バリアリブ)との密着力を弱める働きをさせる。その後表面洗浄、感光性有機フィルム剥離、焼成、洗浄の各処理を順次行うようにしたものである。さらに、バリアリブの形状保護材として100°C以下の温度では固化し、それ以上の温度では液体であるパラフィンやアクリル樹脂等を用いたものである。

請求項（抜粋）：

微小な間隙をもって相対する平面板上にそれぞれに対面して複数の電極をマトリクス状に整列配置し、前記対面電極へ選択的に電圧を印加し、前記間隙に気密封入した発光ガスを発光放電させ、情報を表示するプラズマディスプレイにおいて、前記電極を配置した何れかの平面板上に均一厚みの感光性有機フィルムを貼付し、パターンマスクを介して感光性有機フィルムを露光した後、現像して電極及びバリアリブを形成しない部分にのみ感光性有機フィルムが残るようにパターンを形成した後熱処理を行い、さらにアセトン、IPA等の中性溶剤若しくは弱アルカリ溶液に浸せきし、しかる後、前記パターン間に黒色ガラスペーストを塗布、乾燥させ、バリアリブ形状維持のための剥離保護剤を塗布し、表面洗浄の後、前記感光性有機フィルムを感光性有機フィルム剥離により剥離除去し、焼成の各処理を順次行ってバリアリブを形成することを特徴とするプラズマディスプレイのバリアリブ形成方法。