特許
J-GLOBAL ID：200903048538730244
透光性導電酸化物膜の分離形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西野 卓嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-318396
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163959
出願日： 1992年11月27日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、透光性導電酸化物膜の側壁に膜のバリが発生したり、透光性導電酸化物膜の下方に位置する膜へ損傷を与えることなく、電気的に分離された複数の透光性導電酸化物膜を形成することを目的とする。【構成】 本発明は、電気的に分離された複数の透光性導電酸化物膜2a、2b、2cを形成する方法であって、透光性導電酸化物膜2を形成する工程と、この透光性導電酸化物膜2の分離部2ab、2bcを水素プラズマに晒し、膜を高抵抗化する工程とを備えたものである。
請求項（抜粋）：
電気的に分離された複数の透光性導電酸化物膜を形成する方法であって、前記透光性導電酸化物膜を形成する工程と、この透光性導電酸化物膜の分離部を水素プラズマに晒し、膜を高抵抗化する工程とを備えたことを特徴とする透光性導電酸化物膜の分離形成方法。
IPC (3件)：
H01L 31/04
, H01B 13/00 503
, H01B 5/14
