特許

J-GLOBAL ID：200903048545500440

レーザ干渉計測装置

発明者： 平野 雅夫
出願人/特許権者： ホーヤ株式会社
代理人 (1件)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-346347
公開番号（公開出願番号）：特開平5-180617
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【目的】 この発明は、比較的簡単な構成により測定光の位相変化を2値的な光強度信号に変換して検出することを可能にしたレーザ干渉計測装置を提供することを目的とする。【構成】 本発明にかかるレーザ干渉計測装置は、参照光L1 と測定光L2 とを合波して得られる干渉光L3 を、入射光量に対応して出射光量が変化しかつ入射光量が所定の臨界値のとき入射光量に対する出射光量の関係が不連続的に大きく変化する性質を有する光双安定素子4を通してから光検出器5で検出するようにしたことにより、比較的簡単な構成により測定光の位相変化を2値的な光強度信号に変換して検出することを可能にしたものである。

請求項（抜粋）：

レーザ光源から射出された光を参照光と測定光とに分離し、前記測定光を測定対象体に関与させた後、光合波器によって前記参照光と合波して干渉光を生じさせ、この干渉光を光検出器で検出し、その位相情報から前記測定対象体の測定対象物理量を求めるレーザ干渉計測装置において、前記光合波器と光検出器との間に、入射光量に対応して出射光量が変化しかつ入射光量が所定の臨界値のとき入射光量に対する出射光量の関係が不連続的に大きく変化する性質を有する光双安定素子を設けたことを特徴とするレーザ干渉測定装置。