特許

J-GLOBAL ID：200903048546789533

イオンビームによる元素分析装置用ビーム調整装置

発明者： 若狭 秀一郎 ,  佐々木 太郎
出願人/特許権者： イオン加速器株式会社
代理人 (1件)： 大塚 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-156514
公開番号（公開出願番号）：特開2001-337055
出願日： 2000年05月26日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：

【要約】【課題】 イオンビームの形態を測定しこれを調整する装置を機能的にコンパクトに構成し、調整作業を短時間で正確に、かつ簡単に行えるようにする。【解決手段】 イオンビームの進路上に、ビームの位置確認のためのビームビュウア3及び強度測定のためのファラディカップ4、断面形状を整えるためのコリメータ5、コリメータ通過後の強度分布を画像で表示するプロフィルモニタ6を配置してビーム調整装置1を構成する。ビームビュウア3は、導入管2内を通るイオンビームの断面を投影して窓13から観察すべく傾斜した投影面3aを備え、動作室7内を進退自在で外部から位置調整できる。ファラディカップ4は、ビームビュウア3と一体である。コリメータ5は、収容室15内で回転自在で、その回転円周上に、断面形状の異なる複数のビーム通路5aを備え、外部からの回転角度の調整で、導入管2と連通する通路5aを切り替える。プロフィルモニタは、モニタ室22内で進退自在で外部から移動調整できる。

請求項（抜粋）：

加速器から発射されたイオンビームをビーム導入管を介して試料に照射し、試料から発生するX線のスペクトルをX線検出器で検出し、元素分析を行う装置において、イオンビームの強度、量を測定し、断面形状を調整するための装置であって、前記イオンビームの進路上の前記加速器側から順次配置された、ビームの位置確認のためのビームビュウア及びビームの強度測定のためのファラディカップ、ビームの断面形状を整えるためのコリメータ、コリメータ通過後のビームの強度分布を画像で表示するプロフィルモニタとを具備し、前記ビームビュウアは、前記ビーム導入管内を通るイオンビームの断面を投影して外部から観察可能とするためにビーム導入管の軸線に対してほぼ45度の傾斜を成して配置された投影面を備え、ビーム導入管の途上に設けられた動作室内において、投影面をイオンビームの進路上に配置し、あるいはそこから退避させるべく、ビーム導入管の軸線に直交する方向に外部から位置調整自在に設けられ、前記ファラディカップは、前記ビーム導入管の途上に設けられた動作室内において、ビーム受け入れ部をイオンビームの進路上に配置し、あるいはそこから退避させるべく、ビーム導入管の軸線に直交する方向に外部から位置調整自在に設けられていることを特徴とするイオンビームによる元素分析装置用ビーム調整装置。

IPC (4件)：

G01N 23/22 ,  G01T 1/29 ,  G21K 1/02 ,  G21K 5/04

FI (6件)：

G01N 23/22 ,  G01T 1/29 A ,  G01T 1/29 B ,  G21K 1/02 C ,  G21K 5/04 A ,  G21K 5/04 C

Fターム (30件)：

2G001AA05 ,  2G001BA05 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001GA01 ,  2G001GA11 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA06 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001KA01 ,  2G001SA02 ,  2G088EE29 ,  2G088EE30 ,  2G088FF12 ,  2G088FF13 ,  2G088FF14 ,  2G088GG17 ,  2G088GG27 ,  2G088JJ01 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ12 ,  2G088JJ13 ,  2G088JJ22 ,  2G088JJ23 ,  2G088JJ24 ,  2G088JJ37 ,  2G088LL13