環形層成に配された多孔性基材を強化するための化学蒸着浸透法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-531516
公開番号（公開出願番号）：特表平11-503795
出願日： 1996年04月17日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：

【要約】環状層成に配した多孔性基材を強化するための化学蒸着浸透方法。強化すべき基材(12)を浸透オーブンの反応チャンバー(11)の内側に負荷し、基材の間に形成される空間(33)を有する内部通路(31)を画定する少なくとも1つの環状層成(30)に配する。反応チャンバーに導入されたガスを送給し、層成または各層成の内側および外側によって構成される2つ容積のうちの1つに向けて、好ましくは、より小さい容積に向けて、予熱ゾーン(18)を通す。この容積(31)はその対向端部の近くにあり、従って、ガスはチャンバーへの導入からチャンバーからのその排気まで、層成または各層成の内側から外側に、あるいはその逆に流動し、ガスは基材の間の空間を通過し、それらに拡散する。

請求項（抜粋）：

強化すべき基材を浸透オーブンの反応チャンバーに負荷し、該基材はチャンバーの長手方向に伸び、基材間に形成される空間を有する内部通路を画定する少なくとも1つの環形または中空の層成中に配置し;蒸着すべき材料の少なくとも1種の前駆体を含有するガスを、その第1の長手方向端部に隣接する反応チャンバーに導入し;次いで、該第1の長手方向端部とは反対の反応チャンバーの長手方向端部に隣接して位置する流出口を通して残存するガスを排出させることよりなる基材内に材料を蒸着することによって多孔性基材を強化するための化学蒸着浸透法であって、チャンバーの第1の長手方向に近いその端部において基材の層成の内側および外側によって構成される2つの容積のうちの1つの容積に向けて、反応チャンバーに導入されたガスを流動させ;その中にガスを流動させた容積はチャンバーの第1の長手方向端部からさらにその端部に近く;チャンバーへの導入とチャンバーからの排出との間に、ガスは層成または該層成の、もしくは各層成の外側に向けて内側から流れ、あるいはその逆に流れ、ガスは基材の間の空間を通過し、それらに拡散することを特徴とする該方法。

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平1-249659
特開平3-016633
特開昭54-023039

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