特許

J-GLOBAL ID：200903048548963336

電子放出素子、電子源、表示パネルおよび画像形成装置の製造方法

発明者： 小林 登代子 ,  石崎 明美 ,  元井 泰子 ,  上野 理恵
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-175470
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012135
出願日： 1996年06月17日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 導電性薄膜の膜厚が均一化し、該薄膜の製造工程が簡略化し、大面積基板に低コストかつ容易に素子を形成することができ、それによって得られる電子放出素子の電子放出特性が均一な、電子放出素子の製造方法、さらに該素子を用いた電子源、表示パネルおよび画像形成装置の製造方法を提供する。【解決手段】 基板上の対向する電極間に、導電性薄膜形成用材料を含む溶液の液滴を付与して導電性薄膜を形成し、該導電性薄膜に電子放出部を形成する電子放出素子の製造方法であって、基板上の対向する電極間に凸部を形成し、前記液滴の付与を、インクジェット方式にて行うことを特徴とする電子放出素子の製造方法。

請求項（抜粋）：

基板上の対向する電極間に、導電性薄膜形成用材料を含む溶液の液滴を付与して導電性薄膜を形成し、該導電性薄膜に電子放出部を形成する電子放出素子の製造方法であって、基板上の対向する電極間に凸部を形成し、前記液滴の付与を、インクジェット方式にて行うことを特徴とする電子放出素子の製造方法。

IPC (4件)：

H01J 9/02 ,  B41J 2/01 ,  H01J 1/30 ,  H01J 31/12

FI (4件)：

H01J 9/02 B ,  H01J 1/30 B ,  H01J 31/12 C ,  B41J 3/04 101 Z