流量制御フイルタ及びその駆動方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：江原省吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-247198
公開番号（公開出願番号）：特開平5-076711
出願日： 1991年09月26日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】【目的】メッシュ状のフィルタ部(10)の網目(11c)の大きさを容易に変化できるような流量制御フィルタ及びその駆動方法を提供する。【構成】 2枚のメッシュ状のフィルタ部(10)を摺動可能に重合することによって流量制御フィルタを構成し、各フィルタ部(10)に圧電アクチュエータ(20)を接続する。流量制御フィルタの網目(11c)の大きさは、圧電アクチュエータ(20)が数μm伸長することによって、微細に変化する。

請求項（抜粋）：

メッシュ状のフィルタ部の網目の大きさを圧電アクチュエータによって変化させ、その流量を制御することを特徴とする流量制御フィルタの駆動方法。

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