特許
J-GLOBAL ID:200903048550522231

研磨布

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-189420
公開番号(公開出願番号):特開平7-024726
出願日: 1993年06月30日
公開日(公表日): 1995年01月27日
要約:
【要約】【目的】 金属、半導体基盤、ガラス等の精密表面研磨に使用される研磨布の品質改良を目的とする。【構成】 人造繊維よりなる不織布をポリサルホン樹脂とポリウレタン樹脂の混合樹脂溶液に含浸、湿式凝固、水洗、乾燥して、不織布を微細気孔を内在するポリサルホン樹脂とポリウレタン樹脂との混合樹脂多孔体で結合、固定化した研磨布。【効果】 研磨加工工程で研磨布に加わる圧力と熱による樹脂の変型が少なく、多孔構造が損われることがないため研磨砥粒の目づまりによる研磨傷の発生がなく、研磨性能の低下が少なく且つ耐摩耗性のよい耐久性にすぐれた研磨布を提供することが出来る。
請求項(抜粋):
人造繊維よりなる不織布をポリサルホン樹脂とポリウレタン樹脂の混合樹脂溶液に含浸し、湿式凝固、乾燥して不織布を微細気孔を内在する、ポリサルホン樹脂とポリウレタン樹脂の混合樹脂多孔体で結合、固定化することを特徴とする研磨布。
IPC (6件):
B24B 37/00 ,  B24D 11/00 ,  D04H 1/58 ,  D04H 1/64 ,  D06M 15/564 ,  D06M 15/63
FI (2件):
D06M 15/63 ,  D06M 15/564

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