特許
J-GLOBAL ID：200903048552127607
円筒体表面欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-099695
公開番号（公開出願番号）：特開平10-282006
出願日： 1997年04月01日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】 円筒状被検査物の円筒表面上の欠陥の状態にかかわらず、正確にその欠陥を検出することが可能な円筒体欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 円筒状被検査物1の円筒面1aの円周方向にレーザ光を一定の角度で照射させ、その反射光を受光センサ9で受光する。被検査物1の円筒面1aの円周方向の走査と同期して被検査物1を被検査物1の軸方向Aに移動させる。これにより、被検査物1の円筒面1aにレーザ光を一定の角度で照射し、被検査物1の円筒面1aを螺旋状に走査する。反射光量が予め定められた値よりも低くなった場合に被検査物に欠陥があると判定する。
請求項（抜粋）：
円筒状の被検査物の円筒表面に検査光を照射してその反射光を検出し、連続して検出される前記反射光データを処理することにより、前記被検査物円筒表面の欠陥を検出する円筒体表面欠陥検査装置において、前記円筒状の被検査物の円筒表面に対して該円筒表面の円周方向に移動しながら一定の入射角度で前記検査光を照射する検査光照射手段と、前記被検査物を該被検査物の軸方向に移動させる被検査物移動手段とを有し、前記検査光照射手段と前記被検査物移動手段とが協働することにより、前記検査光が前記被検査物円筒表面を螺旋状に走査して前記被検査物円筒表面の欠陥を検出することを特徴とする円筒体表面欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/00
, G01B 11/30
G01N 21/88 A
, G01B 11/00 F
, G01B 11/30 A
