気泡発生装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-218563
公開番号（公開出願番号）：特開平7-070766
出願日： 1993年09月02日
公開日（公表日）： 1995年03月14日
要約：

【要約】【構成】純度99.9%以上の電融アルミナ粉末を1500°C以上の焼成温度で焼結してアルミナ多孔質体3を形成し、該アルミナ多孔質体3の平均気孔径を0.5〜10μmとした気泡発生部材2を気泡発生装置1に配置した。【効果】気泡発生部材2が、完全に焼結したアルミナ多孔質体3であるため、強酸に浸しても殆ど浸食を受けない。その為、この気泡発生部材2を備えた本発明の気泡発生装置1は、常に微細で均一な径の気泡を発生させることができ、この気泡発生装置1を用いて洗浄を行えば、十分な洗浄効果が得られ、エッチングに用いれば、高精度な加工を施すことができる。

請求項（抜粋）：

純度99.9%以上の電融アルミナ粉末を成形し、1500°C以上の焼成温度で焼結した0.5〜10μmの平均気孔径を有するアルミナ多孔質体を気泡発生部材として備えて成る気泡発生装置。

IPC (5件)：

C23F 1/08 101 , B22F 3/11 , C23G 5/00 , H01L 21/304 341 , H01L 21/306

FI (2件)：

B22F 5/00 101 Z , H01L 21/306 J

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