特許
J-GLOBAL ID：200903048558027574
半導体加速度センサ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-197956
公開番号（公開出願番号）：特開平5-040130
出願日： 1991年08月07日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：
【要約】【目的】 この発明は、耐落下性を向上させた半導体加速度センサ装置を得る。【構成】 カンチレバービームの感度正軸方向Aに対して垂直な他軸方向Bに且つ半導体加速度センサ1から離間した位置に重心を設定するための重心設定手段30を配置し、感度正軸方向に対して垂直方向に落下姿勢をとることにより、落下衝撃時に薄肉部の曲折方向に荷重応力が印加されないようにした。
請求項（抜粋）：
半導体歪ゲージが形成された薄肉部を有するカンチレバービームと、このカンチレバービームを含む半導体加速度センサを支持する基板とを備えた半導体加速度センサ装置において、前記カンチレバービームの感度正軸方向に対して垂直な他軸方向に且つ前記半導体加速度センサから離間した位置に重心を設定するための重心設定手段を設けたことを特徴とする半導体加速度センサ装置。
IPC (2件)：
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