特許

J-GLOBAL ID：200903048565689809

チャンバ内の過酸化水素蒸気の濃度測定方法及びその装置

発明者： 小久保 護
出願人/特許権者： 澁谷工業株式会社
代理人 (1件)： 福島 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-370820
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183326
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】コスト的に安い簡便な過酸化水素蒸気の濃度測定技術を提供する。【解決手段】過酸化水素蒸気の濃度に比例して反応する特性を有する第1湿度センサ3により検出されたチャンバ1内の気体に関する検出値C1と、第2湿度センサ7により検出された前記気体中の過酸化水素成分を水蒸気と酸素に分解処理した後の気体に関する検出値C2を用いて、A=(C1-C2)/(B-E/D)によりチャンバ1内の気体に含まれる過酸化水素蒸気の濃度Aを演算する(なお、Bは予め実験的に求めた第1湿度センサが過酸化水素蒸気の濃度に応じて反応する検出値に対する反応係数、Dは過酸化水素の分子量、Eは水の分子量)。

請求項（抜粋）：

チャンバ内の過酸化水素蒸気を含んだ気体に接するように過酸化水素蒸気の濃度に比例して反応する特性を有する第1湿度センサを配設するとともに、前記気体中の過酸化水素成分を水蒸気と酸素に分解処理した上、その分解後の気体に接するように第2湿度センサを配設し、それらの第1湿度センサにより検出された検出値C1と第2湿度センサにより検出された検出値C2に基づいて、次式により前記過酸化水素蒸気の濃度Aを演算することを特徴とするチャンバ内の過酸化水素蒸気の濃度測定方法。A=(C1-C2)/(B-E/D)ここで、Bは予め実験的に求めた前記第1湿度センサが過酸化水素蒸気の濃度に応じて反応する検出値に対する反応係数、Dは過酸化水素の分子量、Eは水の分子量である。

IPC (2件)：

G01N 27/12 ,  A61L 2/20

FI (3件)：

G01N 27/12 F ,  G01N 27/12 A ,  A61L 2/20 G

Fターム (15件)：

2G046AA04 ,  2G046AA09 ,  2G046BG04 ,  2G046CA09 ,  2G046DC13 ,  2G046DC14 ,  2G046DC18 ,  2G046EB07 ,  4C058AA12 ,  4C058AA16 ,  4C058AA22 ,  4C058BB07 ,  4C058JJ16 ,  4C058JJ24 ,  4C058JJ30