特許
J-GLOBAL ID：200903048569346035
観察装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-194519
公開番号（公開出願番号）：特開平5-041194
出願日： 1991年08月02日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、短時間で、かつ容易に所望の観察位置を特定できる走査型電子顕微鏡を備えた観察装置を提供する。【構成】 本発明の観察装置は走査型電子顕微鏡と、光学顕微鏡と、走査型電子顕微鏡と光学顕微鏡との観察領域間を移動する試料ステ-ジと、光学顕微鏡の観察領域に対する前記試料ステージの相対位置デ-タを走査型電子顕微鏡に転送し、この相対位置デ-タに従って走査型電子顕微鏡における観察領域に対して前記試料ステージを位置決めし、光学顕微鏡の観察領域における試料ステージの顕微鏡に対する相対位置と走査型電子顕微鏡における観察領域に対する試料ステージの相対位置とが実質的に同じになるように調整する手段とを備えている。
請求項（抜粋）：
走査型電子顕微鏡と、光学顕微鏡と、前記走査型電子顕微鏡と前記光学顕微鏡との観察領域間を移動する試料ステ-ジと、前記光学顕微鏡の観察領域に対する前記試料ステージの相対位置デ-タを走査型電子顕微鏡に転送し、この相対位置デ-タに従って走査型電子顕微鏡における観察領域に対して前記試料ステージを位置決めし、前記光学顕微鏡の観察領域における試料ステージの顕微鏡に対する相対位置と走査型電子顕微鏡における観察領域に対する試料ステージの相対位置とが実質的に同じになるように調整する手段とを備えた観察装置。
IPC (3件)：
H01J 37/22
, G02B 21/26
, H01J 37/28
