特許
J-GLOBAL ID:200903048574941464

異物検査方式および異物検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石川 泰男 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-304269
公開番号(公開出願番号):特開平6-160290
出願日: 1992年11月16日
公開日(公表日): 1994年06月07日
要約:
【要約】【目的】 透明または半透明の被検査物に付着した異物を正確かつ簡単に判別する。【構成】 透明または半透明の被検査物51を、光源7,8から発せられた光を拡散する拡散部材2,3,4を介して照射し、この拡散光で照射された被検査物を撮影機5,6で撮影し、これら撮影機から出力される画像データに基づいて前記被検査物の異物を検査するようにした。
請求項(抜粋):
透明または半透明の被検査物を、光源から発せられた光を拡散する拡散部材を介して照射し、この拡散光で照射された被検査物を撮影機で撮影し、この撮影機から出力される画像データに基づいて前記被検査物の異物を検査するようにしたことを特徴とする異物検査方式。
IPC (2件):
G01N 21/88 ,  G01N 21/90
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 特開昭53-042093
  • 特開平1-314955
  • 特開昭64-038637
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