特許
J-GLOBAL ID：200903048588549818
基板搬送用アダプタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-234379
公開番号（公開出願番号）：特開平10-079418
出願日： 1996年09月04日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：
【要約】【課題】 マスク、半導体ウエハなどの基板の大きさあるいは形状が変わっても、低コストかつ容易にこれらを搬送する。【解決手段】 アダプタ1に異なる大きさの座繰り部3,4を形成し、この座繰り部3,4内にマスク、半導体ウエハなどの基板を載置する。そして基板が載置されたアダプタ1を露光装置にセットし、アダプタ1ごと基板を搬送する。
請求項（抜粋）：
基板を載置して、該基板を搬送する搬送装置に取り付けられるアダプタであって、前記基板の周囲を規制する規制部材を備えたことを特徴とする基板搬送用アダプタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
