走査電子顕微鏡の異種倍率設定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-122006
公開番号（公開出願番号）：特開2002-319361
出願日： 2001年04月20日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：

【要約】【課題】走査電子顕微鏡において、観察視野の選択時に有効である異種倍率像の同時表示機能では、広い領域の走査に必要な高い感度の偏向コイルをそのまま用いて高倍率とするために走査信号の振幅を縮小していたので、高倍率像走査時には、偏向コイル駆動電流のS/N比が低下し、倍率比の大きな異種倍率像を得る事が困難であった。【解決手段】高感度偏向コイルと低感度偏向コイルを使用し、低倍率像は、高感度偏向コイルを走査し、高倍率像は低感度偏向コイルを走査することで、S/N比低下の問題を解決し、倍率比の大きな異種倍率像を得る事が可能である。【効果】倍率比の大きな異種倍率像を表示できるので、効率良く視野選択ができ、操作性を向上する効果がある。

請求項（抜粋）：

集束された電子ビームを試料上に走査するための感度の異なる2組の偏向コイルと、試料から発生する二次電子等の信号を検出する手段と、二つの画像を実質的に同時に表示する画像表示手段と、各々を制御する手段を備える走査電子顕微鏡であって、上記2組の偏向コイルを交互に使用して、倍率の異なる二つの画像を実質的に同時に表示することを特徴とする装置。

IPC (3件)：

H01J 37/147 , G01B 15/00 , H01J 37/22 502

FI (3件)：

H01J 37/147 B , G01B 15/00 B , H01J 37/22 502 C

Fターム (11件)：

2F067AA51 , 2F067EE05 , 2F067HH06 , 2F067JJ05 , 2F067KK04 , 2F067LL00 , 2F067NN02 , 2F067QQ02 , 5C033FF02 , 5C033FF03 , 5C033FF05

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