制御装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸島儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-042458
公開番号（公開出願番号）：特開平7-253804
出願日： 1994年03月14日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】半導体露光装置やハードディスクのサーボライタ等の位置制御や速度制御に好適な高性能なH∞制御技術を提供すること。【構成】 PID補償器に代表される古典制御技術における直列補償器をループシェーピングの周波数重みとすることによって、従来の古典制御における設計技術を継承し、かつ古典制御技術では実現が難しかったサーボ帯域内に制御性能上問題となるような制御対象の振動モードが存在する場合にも高性能な制御系を実現する。また、定数行列重みを有する一般化プラントから得られるロバスト安定化補償器を用いることによって、従来の古典制御技術では実現が難しかったサーボ帯域内に制御性能上問題となるような制御対象の振動が存在する場合にも高性能な制御系を実現する。

請求項（抜粋）：

被制御物体を駆動する駆動手段と、前記被制御物体の移動状態を観測する状態観測手段と、前記被制御物体に対する状態目標値を生成する目標値生成手段と、前記状態観測手段による状態観測信号と前記目標値生成手段による状態目標値によって前記駆動手段への制御信号を生成するロバスト安定化補償手段と、前記ロバスト安定化補償手段による前記被制御物体の制御系に対して試験信号を発生して加えるための試験信号発生手段と、前記試験出力信号を検出するための試験出力信号検出手段と、前記試験出力信号を用いて前記安定化補償手段のパラメータを演算するための演算手段と、前記演算手段での演算に基づいて前記ロバスト安定化補償手段のパラメータを変化せしめるパラメータ可変手段とを有することを特徴とする制御装置。

IPC (3件)：

G05B 13/02 , G05B 13/04 , G05D 3/12 305

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平4-118703
特開昭60-218105
特開昭62-080704

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審査官引用 (2件)

特開平4-118703
特開昭60-218105

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