特許
J-GLOBAL ID：200903048601623119
プロセス異常分析装置および方法並びにプログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-070932
公開番号（公開出願番号）：特開2007-250748
出願日： 2006年03月15日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：
【課題】 製品の異常の有無の判定結果に対する信頼性を高めることができるプロセス異常分析装置を提供すること【解決手段】 プロセスデータ記憶部21に格納された時系列のプロセスデータからプロセス特徴量を抽出するプロセスデータ編集部22と、プロセス特徴量から製造システムで製造される製品並びに製造装置の異常検出を行なうための異常分析ルールを記憶する異常分析ルールデータ記憶部26と、異常分析ルールにより、プロセス特徴量から製品並びに前記製造装置の異常の有無を判定する異常判定部24と、を備える。異常分析ルールに使用する予測モデルとして部分最小自乗回帰(PLS)モデルを使用するとともに、Q統計量およびT2統計量を使用し、異常判定部は、その統計量の値が設定値以上の場合に前記製造装置が異常と判定するようにした。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
1または複数の製造装置からなる製造システムにおいて、プロセス実行時に得られるプロセスデータに基づいてプロセスの異常を単位対象品毎に検出するプロセス異常分析装置であって、
前記時系列のプロセスデータを記憶するプロセスデータ記憶手段と、
そのプロセスデータ記憶手段に格納されたプロセスデータからプロセス特徴量を抽出するプロセスデータ編集手段と、
プロセス特徴量から前記製造システムで製造される製品並びに前記製造装置の異常検出を行なうための異常分析ルールを記憶する異常分析ルールデータ記憶手段と、
前記異常分析ルールにより、前記プロセス特徴量から前記製品並びに前記製造装置の異常の有無を判定する異常判定手段と、
を備え、
前記異常分析ルールに使用するプロセス処理結果の予測モデルとして部分最小自乗回帰モデルを使用するとともに、Q統計量およびまたはT2統計量を使用し、前記異常判定手段は、その統計量の値が設定値以上の場合に前記製造装置が異常と判定することを特徴とするプロセス異常分析装置。
IPC (3件)：
H01L 21/02
, G05B 23/02
, G05B 19/418
H01L21/02 Z
, G05B23/02 301V
, G05B23/02 302Y
, G05B19/418 Z
3C100DD22
, 3C100DD23
, 3C100EE06
, 5H223AA01
, 5H223DD03
, 5H223DD07
, 5H223DD09
, 5H223EE29
, 5H223FF06
