特許
J-GLOBAL ID：200903048606440470
改良真空ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-103890
公開番号（公開出願番号）：特開2001-304161
出願日： 2001年02月26日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：
【要約】【課題】 圧力及び流量の作動範囲を改善することができる作動方式が異なる2つ以上の部分を有する、「ハイブリット」型すなわち組合せ型の真空ポンプ、特に無潤滑式(乾式)組合せ真空ポンプを提供する。【解決手段】 組合せ真空ポンプ1が、仕切12によって上部チャンバ40及び下部チャンバ42に分割されたポンプ本体6を有する。ねじポンプ部分2が下部チャンバ42を占有し、ルーツ型ポンプ部分4が上部チャンバ40を占有する。ルーツ型ポンプ部分4が2つのローター32を有し、それぞれ仕切12のボア36で回転することのできる円板34を有する。
請求項（抜粋）：
ねじポンプ部分を有し、このねじポンプ部分は、第1軸と、第1軸から間隔を置いて且つ第1軸と平行な、ポンプ本体に取り付けられた第2軸と、第1軸に取り付けられた第1ローターと、第2軸に取り付けられた第2ローターとを有し、各ローターは、実質的に円筒形であり、外面に少なくとも1つのらせんベーン又はねじ山を形成し、らせんベーン又はねじ山はポンプ本体の第1チャンバ内で一緒に噛み合い、軸の回転運動により、流体を流入口から流出口へ圧送し、ポンプはルーツ型ポンプ部分を更に有し、このルーツ型ポンプ部分は2つの噛み合うルーツ型ローターを有し、これらのローターは、上記軸に取り付けられ、ポンプの流入口部に位置決めされたポンプ本体の第2チャンバ内で反対方向に回転することができるようになっており、各ルーツ型ローターは、上記第1チャンバ及び第2チャンバを分割する仕切のボア内で回転することができるディスクを有する、組合せ真空ポンプ。
IPC (4件)：
F04C 23/00
, F04C 18/16
, F04C 18/18
, F04C 25/02
F04C 23/00 F
, F04C 18/16 A
, F04C 18/18 A
, F04C 25/02 K
, F04C 25/02 M
