特許
J-GLOBAL ID:200903048617333170

フラーレン重合体及びその生成方法、並びに、フラーレン重合体を用いた機能素子及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 逢坂 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-005116
公開番号(公開出願番号):特開2001-199715
出願日: 2000年01月14日
公開日(公表日): 2001年07月24日
要約:
【要約】【課題】 太陽電池等の機能素子において、膜厚の制御を可能とし、常に所望の膜厚のフラーレン重合体を生成すると共に、フラーレン分子の構造を保持した良質の重合体を下地のダメージも少なくして生成すること。【解決手段】 フラーレン分子を蒸着した後、この蒸着膜4Aに、RFプラズマ等の電磁波10を照射することによって、前記フラーレン分子を重合体化してフラーレン重合体膜4を生成する。
請求項(抜粋):
フラーレン分子の蒸着膜が電磁波の照射によって重合体化されてなる、フラーレン重合体。
IPC (8件):
C01B 31/02 101 ,  B01J 19/08 ,  B01J 19/12 ,  B01J 35/02 ,  B32B 9/00 ,  C23C 16/26 ,  H01B 5/14 ,  H01L 31/04
FI (8件):
C01B 31/02 101 F ,  B01J 19/08 H ,  B01J 19/12 G ,  B01J 35/02 J ,  B32B 9/00 A ,  C23C 16/26 ,  H01B 5/14 A ,  H01L 31/04 V
Fターム (83件):
4F100AA17D ,  4F100AA17E ,  4F100AA33D ,  4F100AA37E ,  4F100AB01D ,  4F100AB01E ,  4F100AB24D ,  4F100AB25D ,  4F100AG00B ,  4F100AK01C ,  4F100AK02C ,  4F100AK21C ,  4F100AK35C ,  4F100AK54C ,  4F100AK80A ,  4F100AS00D ,  4F100AS00E ,  4F100AT00B ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10B ,  4F100BA10E ,  4F100CA30C ,  4F100DE01E ,  4F100EH462 ,  4F100EH66A ,  4F100EH662 ,  4F100EJ532 ,  4F100EJ542 ,  4F100GB41 ,  4F100JG01C ,  4F100JM02A ,  4F100JM02C ,  4F100JM02D ,  4F100JM02E ,  4F100JN01B ,  4F100JN01D ,  4G046CB03 ,  4G046CB09 ,  4G046CC06 ,  4G069AA03 ,  4G069AA08 ,  4G069BA22A ,  4G069BA22B ,  4G069BA48A ,  4G069BC72A ,  4G069BC75A ,  4G069BC75B ,  4G069DA05 ,  4G069EA08 ,  4G069FA06 ,  4G069FB03 ,  4G069FB34 ,  4G075AA23 ,  4G075AA27 ,  4G075AA62 ,  4G075BA05 ,  4G075BA10 ,  4G075BC01 ,  4G075BC02 ,  4G075BD14 ,  4G075BD26 ,  4G075CA24 ,  4G075CA25 ,  4G075CA33 ,  4G075CA39 ,  4G075CA54 ,  4G075EC21 ,  4G075FB11 ,  4G075FC11 ,  4K030BA27 ,  4K030CA06 ,  4K030DA08 ,  4K030JA01 ,  4K030LA16 ,  5F051AA11 ,  5F051CB11 ,  5F051CB25 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FB02

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