特許
J-GLOBAL ID:200903048617333170
フラーレン重合体及びその生成方法、並びに、フラーレン重合体を用いた機能素子及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
逢坂 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-005116
公開番号(公開出願番号):特開2001-199715
出願日: 2000年01月14日
公開日(公表日): 2001年07月24日
要約:
【要約】【課題】 太陽電池等の機能素子において、膜厚の制御を可能とし、常に所望の膜厚のフラーレン重合体を生成すると共に、フラーレン分子の構造を保持した良質の重合体を下地のダメージも少なくして生成すること。【解決手段】 フラーレン分子を蒸着した後、この蒸着膜4Aに、RFプラズマ等の電磁波10を照射することによって、前記フラーレン分子を重合体化してフラーレン重合体膜4を生成する。
請求項(抜粋):
フラーレン分子の蒸着膜が電磁波の照射によって重合体化されてなる、フラーレン重合体。
IPC (8件):
C01B 31/02 101
, B01J 19/08
, B01J 19/12
, B01J 35/02
, B32B 9/00
, C23C 16/26
, H01B 5/14
, H01L 31/04
FI (8件):
C01B 31/02 101 F
, B01J 19/08 H
, B01J 19/12 G
, B01J 35/02 J
, B32B 9/00 A
, C23C 16/26
, H01B 5/14 A
, H01L 31/04 V
Fターム (83件):
4F100AA17D
, 4F100AA17E
, 4F100AA33D
, 4F100AA37E
, 4F100AB01D
, 4F100AB01E
, 4F100AB24D
, 4F100AB25D
, 4F100AG00B
, 4F100AK01C
, 4F100AK02C
, 4F100AK21C
, 4F100AK35C
, 4F100AK54C
, 4F100AK80A
, 4F100AS00D
, 4F100AS00E
, 4F100AT00B
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100BA05
, 4F100BA07
, 4F100BA10B
, 4F100BA10E
, 4F100CA30C
, 4F100DE01E
, 4F100EH462
, 4F100EH66A
, 4F100EH662
, 4F100EJ532
, 4F100EJ542
, 4F100GB41
, 4F100JG01C
, 4F100JM02A
, 4F100JM02C
, 4F100JM02D
, 4F100JM02E
, 4F100JN01B
, 4F100JN01D
, 4G046CB03
, 4G046CB09
, 4G046CC06
, 4G069AA03
, 4G069AA08
, 4G069BA22A
, 4G069BA22B
, 4G069BA48A
, 4G069BC72A
, 4G069BC75A
, 4G069BC75B
, 4G069DA05
, 4G069EA08
, 4G069FA06
, 4G069FB03
, 4G069FB34
, 4G075AA23
, 4G075AA27
, 4G075AA62
, 4G075BA05
, 4G075BA10
, 4G075BC01
, 4G075BC02
, 4G075BD14
, 4G075BD26
, 4G075CA24
, 4G075CA25
, 4G075CA33
, 4G075CA39
, 4G075CA54
, 4G075EC21
, 4G075FB11
, 4G075FC11
, 4K030BA27
, 4K030CA06
, 4K030DA08
, 4K030JA01
, 4K030LA16
, 5F051AA11
, 5F051CB11
, 5F051CB25
, 5G307FA01
, 5G307FB01
, 5G307FB02
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