特許

J-GLOBAL ID：200903048623662347

薬液供給装置

発明者： 松 本 康 則 ,  井 本 幸 男
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  東芝マイクロエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-159627
公開番号（公開出願番号）：特開平6-005506
出願日： 1992年06月18日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：

【要約】【目的】 薬液の熱膨張や収縮があっても薬液吐出ノズル先端における薬液の位置を高精度に制御することができる。【構成】 薬液2は薬液容器1からポンプ4によって供給管3と薬液用開閉バルブ5Aと薬液用サックバック・バルブ5Bと温調装置7とを介して薬液吐出ノズル6から半導体ウエーハ10に一定量吐出される。薬液用開閉バルブ5Aが閉弁され上記吐出が終了すると、検出装置13が薬液吐出ノズル6の先端における薬液の先端位置を検出する。制御装置12は、この検出出力に基づき薬液用サックバック・バルブ5Bのサックバック量を制御して薬液の先端位置を調整する。

請求項（抜粋）：

薬液吐出ノズルと、薬液容器からの薬液を上記薬液吐出ノズルに供給する供給管と、この供給管の途中に設置された薬液用開閉バルブと、この薬液用開閉バルブよりも下流側の上記供給管に設置された薬液用サックバック・バルブと、この薬液用サックバック・バルブよりも下流側において上記供給管に流れる薬液を所定の温度に調整する温調装置とを具備する薬液供給装置において、上記薬液用開閉バルブの閉弁時における上記薬液吐出ノズルの先端部での薬液先端の位置を検出する検出装置と、この検出装置の検出出力に基づき上記薬液用サックバック・バルブを制御して上記薬液先端を所定位置に調整する制御装置とを具備することを特徴とする薬液供給装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  B05B 12/02 ,  G03F 7/16 502

FI (2件)：

H01L 21/30 361 C ,  H01L 21/30 361 L