特許
J-GLOBAL ID：200903048625749253

真空蒸着装置

発明者：
松本 祐司

松本 祐司 について

, 
鈴木 和人

鈴木 和人 について


出願人/特許権者：
日立造船株式会社

日立造船株式会社 について


代理人 (4件)： 板垣 孝夫 ,  森本 義弘 ,  笹原 敏司 ,  原田 洋平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-341304
公開番号（公開出願番号）：特開2007-146219
出願日： 2005年11月28日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：
【課題】被蒸着部材と蒸発源の少なくとも一方を直線移動させて、複数の異種材料を被蒸着部材に均一な成分量比で蒸着する。【解決手段】異種の第1,第2蒸着材料を加熱して気化させる蒸発装置12と、真空蒸着容器11内で蒸発装置12から気化された第1,第2蒸発材料を蒸着させるガラス基板13と、ガラス基板13をx方向に移動させる基板保持移動装置とを具備し、蒸発装置12に、各蒸発部21A,21Bから導入された第1,第2蒸発材料をそれぞれ第1拡散容器23A,23Bで拡散した後に、ガラス基板13に向かって第1,第2蒸発材料をそれぞれ放出する第1ノズル筒25aおよび第2ノズル筒25bを近接配置したノズル組25A,25Bを設け、ノズル組25A,25Bをガラス基板13の移動方向に直交する横断方向にライン状に配置した。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
異種の蒸着材料をそれぞれ加熱して気化させる複数の蒸発装置と、真空蒸着容器内で前記蒸発装置から気化された複数の蒸発材料を蒸着させる被蒸着部材と、前記蒸発装置と被蒸着部材の少なくとも一方を直線方向に移動させる移動装置とを具備し、 前記蒸発装置に、異種の蒸着材料をそれぞれ加熱して気化する複数の蒸発部と、前記各蒸発部から導入された蒸発材料をそれぞれ拡散する複数の拡散部と、前記各拡散部にそれぞれ設けられて被蒸着部材に向かって蒸発材料を放出するノズル群とを設け、 前記ノズル群は、異種の蒸着材料をそれぞれ放出する複数のノズルを近接配置したノズル組を有し、前記ノズル組が移動装置による移動方向を横断する方向にライン状に配置された 真空蒸着装置。
IPC (1件)：
C23C 14/24
FI (1件)：
C23C14/24 A
Fターム (9件)：
4K029AA09 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB11 ,  4K029DB12 ,  4K029JA00 ,  4K029KA03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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