特許

J-GLOBAL ID：200903048633390051

欠陥検査システム

発明者： 原田 祐典 ,  伊藤 稔
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-108296
公開番号（公開出願番号）：特開2001-289733
出願日： 2000年04月10日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：

【要約】【課題】 自動検査を含む液晶パネルの欠陥検査システムにおいて、自動検査で不良品と判定された液晶パネルの目視検査を効率化する。【解決手段】 第2の画像処理部16は、判定部15で判定基準外と判定された液晶パネル11の画像データを画像取り込み部13から取り込み、目視検査に適したデータ形式に変換して、画像データ記憶部17に記憶する。作業者は、前記判定基準外と判定された液晶パネルについて、画像データ記憶部17に蓄積された画像データを端末装置18のモニター画面上に表示し、これを順に切り替えながら目視検査を行う。

請求項（抜粋）：

検査対象となる表示パネルを所定の表示状態とするためのテスト用信号を発生するテスト用信号発生手段と、前記表示パネルの表示状態を画像データとして取り込む画像取り込み手段と、前記取り込んだ画像データを自動検査に適したデータ形式に変換する第1の画像処理手段と、前記第1の画像処理手段で変換された画像データを解析して、少なくとも判定基準内又は判定基準外のいずれかの判定結果を出力する判定手段と、前記判定手段により判定基準外と判定された表示パネルの画像データを目視検査に適したデータ形式に変換する第2の画像処理手段と、前記第2の画像処理手段で変換された画像データを記憶媒体に記憶する画像データ記憶手段と、前記記憶媒体に記憶された画像データをモニター画面上に表示する端末装置と、を備えたことを特徴とする欠陥検査システム。

IPC (4件)：

G01M 11/00 ,  G01N 21/84 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 352

FI (4件)：

G01M 11/00 T ,  G01N 21/84 D ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 352

Fターム (22件)：

2G051AA73 ,  2G051AA90 ,  2G051AB06 ,  2G051AB20 ,  2G051CA04 ,  2G051CA11 ,  2G051CB02 ,  2G051EA14 ,  2G051FA02 ,  2G086EE10 ,  2H088FA10 ,  2H088FA13 ,  2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA25 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10