特許
J-GLOBAL ID：200903048633894785
フィルタ再生機能付薬液循環濾過システム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-225566
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077207
出願日： 1992年08月25日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】本発明の目的は、フィルタを取外すことなく、能率よくかつ安全にフィルタを洗浄して再生することのできる機能を持った薬液循環濾過システムを提供することである。【構成】本発明は、開閉弁8,9と、逆止弁15とをそなえた給水配管12と、開閉弁8と9との間に接続したフィルタ再生終了を検知するための装置5と、開閉弁11と、逆止弁16とをそなえた溶媒供給配管14と、開閉弁10をそなえた排液配管13と、圧力計3とフィルタ4との間に設けた開閉弁6と、フィルタ4と薬液容器1との間に設けた開閉弁7と、これらの開閉弁の開閉を制御する弁開閉制御回路とからなっている。【効果】本発明は、目詰りしたフィルタを取外すことなく再生することができる。
請求項（抜粋）：
容器に入れた薬液を濾過するためのフィルタと、このフィルタに薬液を送給して循環させるためのポンプと、フィルタの1次側薬液送給圧力を検知するための装置と、ポンプとフィルタとの間及びフィルタとの間に設けた開閉弁と、フィルタの1次側と開閉弁との間に接続された、2ヶの開閉弁と逆止弁とをそなえた給水配管と、フィルタの2次側と開閉弁との間に接続された、開閉弁をそなえた排液配管と、給水配管の開閉弁と開閉弁との間に接続されたフィルタ再生終了を検知するための装置と、開閉弁と、逆止弁とをそなえたフィルタ目詰り原因物を溶解またはガス状にするための溶媒を供給する溶媒供給配管と、前記の各開閉弁へ駆動信号を出力する弁開閉制御回路とからなる薬液循環濾過システムにおいて、主として反応析出物の生成によって生じたフィルタの目詰りを、溶媒をフィルタ内に一定時間充填しておくことによって溶解またはガス状にしたのち、これらを水で洗い流すことを特徴とするフィルタ再生機能付薬液循環濾過システム。
IPC (3件)：
H01L 21/306
, B01D 35/143
, B01D 35/16
