特許
J-GLOBAL ID：200903048638715030
画像表示装置およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-130455
公開番号（公開出願番号）：特開平5-323304
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、簡単な方法により配線間の短絡を防止し、画像表示装置の歩留まりを大幅に向上するための製造方法を提供する。【構成】 ソース、ドレイン電極を形成する前工程でTFTパネルと対向電極板を絶縁性粒子を懸濁させた電解液に浸漬し、TFTパネルの走査線と対向電極板の間に電圧を印加した電気泳動法や、これと同種の方法による走査線の陽極酸化法により、走査線上の層間絶縁膜に発生したピンホールの部分のみ選択的に新たな絶縁膜で被覆し層間絶縁膜のピンホールや膜の欠損を修復するものである。【効果】 走査線と信号線の短絡不良をほとんど皆無にすることが可能となり、TFT工程での歩留まりを90%以上と従来の1.5〜3倍に向上させることができる。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板上に走査線を形成し、その上に第1の絶縁性薄膜を形成した後の絶縁性基板と一方の電極となる電極板を絶縁性粒子を懸濁させた電解液中に浸漬し、前記絶縁性基板上の走査線と前記電極板の間に直流電圧を印加し、前記電解液中の絶縁粒子を電気泳動させ、前記走査線上の第1の絶縁性薄膜の欠落部分にのみ選択的に付着させ第2の絶縁性薄膜を形成することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
IPC (3件)：
G02F 1/1333 505
, G02F 1/13 101
, G02F 1/136 500
