特許
J-GLOBAL ID：200903048639287899
薄膜の剥離検出方法及び付着強度評価方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-087205
公開番号（公開出願番号）：特開平5-288725
出願日： 1992年04月08日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：
【要約】【目的】 この発明は、超音波を用いた非破壊解析に基づいて信頼性の高い薄膜の剥離検出方法を得る。【構成】 所定の中心周波数を有する超音波Pを単一の探触子7から薄膜22に対して垂直に送信するステップと、超音波Pの反射波を探触子7により受信するステップと、反射波の中心周波数付近の周波数特性をFFT解析するステップとからなる計測シーケンスを、中心周波数の異なる複数の探触子について行い、反射波の周波数特性が所定振幅以上の振動を含むときに、基板21と薄膜22との間に剥離が存在することを判定する。
請求項（抜粋）：
基板とこの基板上に形成された薄膜とを有する被検体の表面に超音波を照射し、前記超音波の反射波に基づいて前記基板と前記薄膜との間の剥離を検出する方法であって、所定の中心周波数を有する超音波を単一の探触子から前記薄膜に対して垂直に送信するステップと、前記超音波の反射波を前記探触子により受信するステップと、前記反射波の前記中心周波数付近の周波数特性をFFT解析するステップと、からなる計測シーケンスを、前記中心周波数の異なる複数の探触子について行い、前記反射波の周波数特性が所定振幅以上の振動を含むときに、前記基板と前記薄膜との間に剥離が存在することを判定する薄膜の剥離検出方法。
IPC (2件)：
G01N 29/10 506
, G01N 29/08 506
