特許
J-GLOBAL ID：200903048642061699
位相差電子顕微鏡およびその位相板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
薄田 利幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-336507
公開番号（公開出願番号）：特開平9-237603
出願日： 1996年12月17日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】 電子顕微鏡の対物レンズ後側焦点面光軸上に形成される直接波のスポット近傍における真空中の静電ポテンシャルを外部より制御可能とすること。【解決手段】 静電ポテンシャルをリング状の電極に外部から電位を与えることで制御する。この電極の外側を絶縁体と導電体によってはさみこむことにより、リングの外側に対して静電ポテンシャルを遮蔽し、リング内部を通過する電子線にのみ位相変化を与える。【効果】 位相物体をコントラストをつけて観察ができる電子線に対する位相板を備えた位相差電子顕微鏡が実現される。
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡の対物レンズ後側焦点面近傍のほぼ光軸位置に配置されるリング状に形成された位相板であって、該焦点面近傍のほぼ光軸位置の直接波のスポットに対応する電子の通過するリング内面を露出させたほかは絶縁体を介してこれをはさみこんだ導電体で覆われたリング状の微小電極および該微小電極に外部電位を導入するための導電体よりなることを特徴とする位相板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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