特許
J-GLOBAL ID:200903048647818208
ハードディスク蒸気潤滑剤注入
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
竹内 澄夫 (外1名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-566847
公開番号(公開出願番号):特表2002-523852
出願日: 1999年08月10日
公開日(公表日): 2002年07月30日
要約:
【要約】真空中でディスクを真空ステーションへ輸送する装置が開示される。真空ステーションでは、潤滑膜がディスク表面に一様に蒸着される。多数の穴60を有する板50通じて蒸着され、厚さの一様性が達成される。製造装置設備、新規な製造方法及び新規なディスクが開示される。
請求項(抜粋):
平滑なハードディスクの製造方法であって、 真空中で、基板上に磁気メディアの下地層を被膜する工程、 前記真空中に前記下地層を維持しながら、前記下地層上に保護層を被膜する工程、及び 前記真空中に前記保護層を維持しながら、前記保護層上に潤滑層を被膜する工程、から成る方法。
IPC (12件):
G11B 5/84
, C10M107/38
, C23C 14/06
, C23C 16/26
, G11B 7/24 533
, G11B 7/24 534
, G11B 7/26 531
, G11B 11/105 531
, G11B 11/105
, G11B 11/105 546
, C10N 40:18
, C10N 50:04
FI (12件):
G11B 5/84 B
, C10M107/38
, C23C 14/06 F
, C23C 16/26
, G11B 7/24 533 K
, G11B 7/24 534 M
, G11B 7/26 531
, G11B 11/105 531 D
, G11B 11/105 531 M
, G11B 11/105 546 F
, C10N 40:18
, C10N 50:04
Fターム (28件):
4H104CD04
, 4H104PA16
, 4H104QA09
, 4K029AA02
, 4K029AA24
, 4K029BA34
, 4K029BD11
, 4K029CA05
, 4K030BA27
, 4K030CA02
, 4K030CA12
, 4K030LA20
, 5D029LA12
, 5D029LC21
, 5D075EE03
, 5D075FG04
, 5D075FG10
, 5D075GG02
, 5D075GG12
, 5D075GG16
, 5D112AA07
, 5D112AA24
, 5D112BC00
, 5D112CC00
, 5D112FA02
, 5D112GA00
, 5D121AA03
, 5D121EE02
引用特許:
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