特許
J-GLOBAL ID：200903048654711435
酸化ニッケル系エレクトロクロミック材料の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院名古屋工業技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-051762
公開番号（公開出願番号）：特開平8-225937
出願日： 1995年02月15日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：
【要約】【目的】 酸化ニッケル系エレクトロクロミック材料の製造法を提供する。【構成】 金属ニッケルをターゲットとした反応性DCマグネトロンスパッタ法による、酸化ニッケル系エレクトロクロミック材料の製造方法。効果 酸化ニッケル系エレクトロクロミック材料により、可視光透過率を7%程度から82%程度まで自由にコントロールすることが可能になる。これにより、建物や乗り物において、その冷房負荷や照明負荷ができるだけ小さくなるように、透過する太陽光を制御することが可能になる。
請求項（抜粋）：
反応性DCマグネトロンスパッタ法により、再現性よく成膜することを特徴とする酸化ニッケル系エレクトロクロミック材料の製造方法。
IPC (4件)：
C23C 14/35
, C09K 9/00
, C23C 14/34
, C23C 14/38
C23C 14/35 Z
, C09K 9/00 B
, C23C 14/34 K
, C23C 14/38
