特許

J-GLOBAL ID：200903048655189155

横型拡散炉用ボート

発明者： 大沼 雅彦
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 柳瀬 睦肇 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-384642
公開番号（公開出願番号）：特開2003-188109
出願日： 2001年12月18日
公開日（公表日）： 2003年07月04日
要約：

【要約】【課題】熱処理される半導体ウェハへのスリップを抑制し得る横型拡散炉用ボートを提供する。【解決手段】ボートBTは、石英製ボート部材Q11,Q12と半導体ウェハWafを実質的に支持する支持部材の要部である石英製アンダーバー(円柱棒)Q21,Q22を有する。図は、ウェハWaf1枚の装填を案内する溝Gが示されている。さらに、アンダーバー(円柱棒)Q21,Q22は、ボート部材Q11,Q12の間に配され、ウェハWafが端面部分を載せることによって実質的にウェハWafを支える。すなわち、ウェハWafの自重がアンダーバーQ21,Q22にかかる。このような構成によって、ボート部材Q11,Q12の溝Gは、ガイド用としてのみ機能させ、その底部をウェハWaf端面に接触させない構成とする。

請求項（抜粋）：

複数の半導体ウェハが配列されるようにガイド用の溝がそれぞれ設けられた第1、第2のボート部材と、前記第1、第2のボート部材の間に設けられ前記半導体ウェハがその端面部分を載せる前記半導体ウェハの実質的な支持部材と、を具備したことを特徴とする横型拡散炉用ボート。

IPC (2件)：

H01L 21/22 501 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/22 501 G ,  H01L 21/68 N

Fターム (5件)：

5F031CA02 ,  5F031HA62 ,  5F031HA64 ,  5F031HA65 ,  5F031MA28