特許

J-GLOBAL ID：200903048660821650

結晶方位決定装置

発明者： 川上 和人 ,  高橋 淳 ,  山口 由起子
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (3件)： 亀谷 美明 ,  金本 哲男 ,  萩原 康司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-106456
公開番号（公開出願番号）：特開2008-261815
出願日： 2007年04月13日
公開日（公表日）： 2008年10月30日
要約：

【課題】本発明は、知識と経験の少ない作業者であっても、FIM試料の結晶方位及び粒界角度を容易に決定する装置を提供すると共に、結晶粒サイズが小さくて従来方位決定が困難であった試料でも結晶方位を決定する装置を提供する。【解決手段】測定試料中の結晶粒に対する電界イオン顕微鏡(FIM)像の画像データ取込手段と、取り込んだFIM像中の特定結晶方位極点に対して対象結晶粒の理論結晶方位極点を一致するように回転操作する手段と、前記回転操作の結果から特定結晶方位極点の結晶方位極点(l,m,n)を決定する手段と、FIM像と決定した結晶方位極点(l,m,n)を重ねて表示する手段とを少なくとも有することを特徴とする結晶方位決定装置である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

測定試料中の結晶粒に対する電界イオン顕微鏡像の画像データを取り込む画像データ取込手段と、 取り込んだ電界イオン顕微鏡像中の特定結晶方位極点に対して、対象結晶粒の理論結晶方位極点を一致するように回転操作する手段と、 前記回転操作の結果に基づいて前記特定結晶方位極点の結晶方位極点(l,m,n)を決定する手段と、 前記電界イオン顕微鏡像と決定した前記結晶方位極点(l,m,n)とを重ねて表示する手段と、 を少なくとも有することを特徴とする、結晶方位決定装置。

IPC (1件)：

G01N 27/62

FI (1件)：

G01N27/62 Z

Fターム (7件)：

2G041CA10 ,  2G041DA20 ,  2G041EA01 ,  2G041FA19 ,  2G041JA20 ,  2G041LA20 ,  2G041MA04