特許

J-GLOBAL ID：200903048664038674

保温筒および縦型熱処理装置

発明者： 酒井 裕史
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-316035
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150403
出願日： 1998年11月06日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】 コストアップを抑制しつつ保持具支持の安定性を向上させる。【解決手段】 多数枚の被処理体Wを保持した保持具20を熱処理炉3内に炉口2側から支持すると共にその炉口2を断熱する保温筒21において、前記保温筒21は保持具20を支持する4本の支柱27を有し、これらの支柱27を正方形以外の変則配置にしている。

請求項（抜粋）：

多数枚の被処理体を保持した保持具を熱処理炉内に炉口側から支持すると共にその炉口を断熱する保温筒において、前記保温筒が保持具を支持する4本の支柱を有し、これらの支柱を正方形以外の変則配置にしたことを特徴とする保温筒。

IPC (2件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/205

FI (2件)：

H01L 21/22 511 Q ,  H01L 21/205

Fターム (7件)：

5F045BB08 ,  5F045DP19 ,  5F045DQ05 ,  5F045EB02 ,  5F045EC02 ,  5F045EM01 ,  5F045EM08