特許
J-GLOBAL ID：200903048674074652
シリカガラスの製造方法及び製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-018117
公開番号（公開出願番号）：特開平9-188523
出願日： 1996年01月08日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：
【要約】【課題】 気泡の発生がほとんどなく、高品質の多孔質シリカガラスを工業的に有利に製造する。【解決手段】 小容積チャンバー内で、該チャンバー内にクリーンエアーを導入すると共に、該チャンバー内の排気ガスを排出させながら酸水素バーナー火炎中にシリコン化合物蒸気を火炎加水分解反応することによりシリカガラス微粒子を発生させると共に、このシリカガラス微粒子を種棒上に付着、堆積させてシリカガラス多孔質体を製造するシリカガラスの製造方法において、上記小容積チャンバーを包囲して密閉外套を配設すると共に、酸水素バーナーの先端火炎噴出口を上記チャンバーの噴出口挿入孔に非気密状態にかつ進退可能に挿入して、上記バーナーの噴出口を種棒に対し調節された位置で、かつ火炎周囲の空気線速を0.5〜1m/秒の範囲に保持するようにクリーンエアーを上記チャンバー内に導入しかつチャンバー内の排気ガスを排出させた状態で、上記シリカガラス微粒子の種棒上への付着、堆積を行うようにしたことを特徴とするシリカガラスの製造方法。
請求項（抜粋）：
小容積チャンバー内で、該チャンバー内にクリーンエアーを導入すると共に、該チャンバー内の排気ガスを排出させながら酸水素バーナー火炎中にシリコン化合物蒸気を火炎加水分解反応することによりシリカガラス微粒子を発生させると共に、このシリカガラス微粒子を種棒上に付着、堆積させてシリカガラス多孔質体を製造するシリカガラスの製造方法において、上記小容積チャンバーを包囲して密閉外套を配設すると共に、酸水素バーナーの先端火炎噴出口を上記チャンバーの噴出口挿入孔に非気密状態にかつ進退可能に挿入して、上記バーナーの噴出口を種棒に対し調節された位置で、かつ火炎周囲の空気線速を0.5〜1m/秒の範囲に保持するようにクリーンエアーを上記チャンバー内に導入しかつチャンバー内の排気ガスを排出させた状態で、上記シリカガラス微粒子の種棒上への付着、堆積を行うようにしたことを特徴とするシリカガラスの製造方法。
IPC (4件)：
C03B 8/04
, C03B 20/00
, C03B 37/018
, G02B 6/00 356
C03B 8/04
, C03B 20/00
, C03B 37/018 A
, G02B 6/00 356 A
