特許

J-GLOBAL ID：200903048675595680

固体撮像装置

発明者： 宮川 良平
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-249273
公開番号（公開出願番号）：特開平6-104414
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：

【要約】【目的】 斜め光に対しても感度が低下せず、かつカメラの対物レンズの絞り値に対しても感度が変化せず、受光面内での感度の均一化をはかり得る固体撮像装置を提供すること。【構成】 半導体基板11上に複数のフォトダイオード12が配列されると共にこれらのフォトダイオード12上にそれぞれ光を集光するためのマイクロレンズが配列された固体撮像装置において、マイクロレンズは、フォトダイオード12の近くに配置された第1のマイクロレンズ15と、フォトダイオード12に対しマイクロレンズ15よりも遠い位置に配置された第2のマイクロレンズ19とからなり、入射光をマイクロレンズ19,15を通してフォトダイオード12に集光させることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に複数のフォトダイオードが配列されると共に、これらのフォトダイオード上にそれぞれ光を集光するためのマイクロレンズが配列された固体撮像装置であって、前記マイクロレンズは前記フォトダイオード上に複数段、重なるように配置されてなることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335 ,  H01L 31/10

FI (2件)：

H01L 27/14 D ,  H01L 31/10 A