特許

J-GLOBAL ID：200903048681730875

透明導電膜の製造方法

発明者： 臼井 隆寛
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-032282
公開番号（公開出願番号）：特開2001-226780
出願日： 2000年02月09日
公開日（公表日）： 2001年08月21日
要約：

【要約】【課題】 透明導電膜を低温で簡便装置構成で製造する。【解決手段】 透明導電膜の材料の微粒子102をノズル101より基板103に向かって超高速で衝突させる。微粒子102のもつ高い運動エネルギーは瞬時に高い熱エネルギーに変換される。これにより微粒子102と基板103は結合する。さらに基板103と結合した材料微粒子に衝突する材料微粒子も結合し、膜104が形成できる。

請求項（抜粋）：

少なくとも透明導電材料の微粒子を作成する工程、前記微粒子をエアロゾル化する工程、前記エアロゾルを基板に吹きつける工程を含むことを特徴とする透明導電膜の製造方法。

IPC (5件)：

C23C 24/00 ,  C01B 13/14 ,  H01B 5/14 ,  B01J 19/00 ,  G09F 9/30 339

FI (5件)：

C23C 24/00 ,  C01B 13/14 ,  H01B 5/14 A ,  B01J 19/00 K ,  G09F 9/30 339 Z

Fターム (37件)：

4G042DA01 ,  4G042DA02 ,  4G042DB24 ,  4G042DC01 ,  4G042DD04 ,  4G042DE03 ,  4G042DE16 ,  4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BB01 ,  4G075BD14 ,  4G075BD16 ,  4G075CA05 ,  4G075CA62 ,  4G075CA80 ,  4G075EC01 ,  4K044AB02 ,  4K044BA12 ,  4K044BB01 ,  4K044BB15 ,  4K044BC14 ,  4K044CA23 ,  4K044CA27 ,  4K044CA55 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094DA13 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094FB02 ,  5C094FB03 ,  5C094FB05 ,  5C094FB12 ,  5C094GB10 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC10