特許
J-GLOBAL ID：200903048695819127
熱電変換素子の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-178988
公開番号（公開出願番号）：特開平8-046251
出願日： 1994年07月29日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 バッチ処理および微細加工による作製方法を用いることで,小型化、量産化を可能とする。【構成】 熱電材料に凸部を作製する工程と、板をマスクで被う工程と、熱電材料と板を接合する工程と、熱電材料を分断し柱構造を作製する工程と、P型,N型の柱構造を張り合わせる工程とを有する。
請求項（抜粋）：
熱電変換材料によって構成する電子冷却もしくは熱発電を行う熱電変換素子の作製方法において、熱電材料に凸部を作製する工程と、板をマスクで被う工程と、熱電材料と板を接合する工程と、熱電材料を分断し柱構造を作製する工程と、P型,N型の柱構造を張り合わせる工程とを有することを特徴とする熱電変換素子の作製方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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