特許
J-GLOBAL ID：200903048699277779
磁気力顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平戸 哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-200863
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048302
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】磁性材料の磁区状態を観察する場合等に使用される磁気力顕微鏡に関し、磁性材料の動的状態における磁区状態を正確に観察できるようにする。【解決手段】試料台1に試料2を置かない状態で磁界印加用コイル3による磁界を発生させ、変位検出器9で検出されるカンチレバー5の自由端部6の変位値をメモリ10に記憶した後、試料台1に試料2を置いた状態で磁界印加用コイル3による磁界を発生させ、変位検出器9で検出されるカンチレバー5の自由端部6の変位値からメモリ10に記憶されているカンチレバー5の変位値をキャンセルさせるための演算を演算処理装置11で行い、試料2が発生する磁界のみによる影響を受けたカンチレバー5の自由端部6の変位値を得るようにする。
請求項（抜粋）：
試料に磁界を印加する磁界印加手段と、自由端部に、前記試料が発生する磁界による磁気力を受ける探針を備え、固定端部を、振動を加えられる加振手段に固定された弾力性部材と、前記弾力性部材の自由端部の変位を検出する変位検出手段とを備える磁気力顕微鏡において、前記磁界印加手段の磁界による前記弾力性部材の自由端部の変位をキャンセルするキャンセル手段を備えていることを特徴とする磁気力顕微鏡。
IPC (4件)：
G01R 33/02
, G01N 37/00
, G11B 5/02
, G11B 9/00
G01R 33/02 F
, G01N 37/00 H
, G11B 5/02 R
, G11B 9/00
