特許
J-GLOBAL ID：200903048714121578
先細熱的アクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
河宮 治
, 石野 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-300000
公開番号（公開出願番号）：特開2004-082733
出願日： 2003年08月25日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】 超小型機械装置、特にインクジェットプリントヘッド(100)のような液滴排出体用の熱的アクチュエータ(15)のための装置を開示する。【解決手段】 開示される熱的アクチュエータ(15)は、基部要素、ならびに、基部要素から延びる熱的機械湾曲部および第1位置にある自由端部を有するカンチレバー要素を備えている。前記熱的機械湾曲部は、基部要素に隣接して基部端幅、wb、および、自由端部に隣接して自由端幅、wf、を有し、基部端幅は実質的に自由端幅よりも大きい。熱的アクチュエータ(15)はさらに、熱パルスを直接的に熱的機械湾曲部に与えてカンチレバー要素の第2位置への偏向を生じさせることに適化した装置を有する。熱的機械湾曲部の幅は、基部要素からの距離の関数として実質的に単調減少してもよく、または、少なくとも1段階の減少があってもよい。熱パルスを与えることに適化した装置は薄膜レジスタを含んでもよい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
(a)基部要素、
(b)前記基部要素から延びる熱的機械湾曲部、および、第1位置にある自由端部を有し、前記熱的機械湾曲部が、前記基部要素に隣接して基部端幅、wb、および、前記自由端部に隣接して自由端幅、wf、を有し、前記基部端幅が実質的に前記自由端幅より大きいカンチレバー要素、ならびに、
(c)前記熱的機械湾曲部に直接的に熱パルスを与え、前記カンチレバー要素の前記自由端部を第2位置に偏向させる装置を有する超小型電気機械装置用熱的アクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
2C057AG39
, 2C057BA04
, 2C057BA15
