特許
J-GLOBAL ID:200903048723943432
積層型圧電アクチュエータ
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-047390
公開番号(公開出願番号):特開2000-252534
出願日: 1999年02月25日
公開日(公表日): 2000年09月14日
要約:
【要約】【課題】 外部電極の疲労断線を防止すると共に、外的衝撃に強く、工程におけるハンドリングの容易な積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】 積層した複数の圧電板1間に、連結部材7で連結した金属薄板6を導電性接着剤層3を介して介装すると共に、上記連結部材7が上記圧電板1の両側に交互に位置するように配置して外部電極8とした積層型圧電アクチュエータであって、上記圧電板1の外周部と上記外部電極8をシリコーンゴム4で被覆し、さらにこのシリコーンゴム4をセラミック粒子を含有させた耐水性樹脂5で被覆した。
請求項(抜粋):
積層した複数の圧電板間に、連結部材で連結した第1および第2の金属薄板を導電性接着剤層を介して交互に介装すると共に、それぞれの連結部材が前記圧電板の両側に交互に位置するように配置して外部電極とした積層型圧電アクチュエータにおいて、前記圧電板の外周部と前記外部電極をシリコーンゴムで被覆し、さらにこのシリコーンゴムをセラミック粒子を含有させた耐水性樹脂で被覆したことを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
IPC (3件):
H01L 41/083
, F02M 51/00
, H02N 2/00
FI (3件):
H01L 41/08 Q
, F02M 51/00 E
, H02N 2/00 B
Fターム (7件):
3G066BA33
, 3G066BA47
, 3G066CD21
, 3G066CD30
, 3G066CE27
, 3G066CE30
, 3G066CE31
引用特許:
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