特許
J-GLOBAL ID：200903048727745791
測定機における測定経路選定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-241669
公開番号（公開出願番号）：特開2000-074661
出願日： 1998年08月27日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：
【要約】【課題】 誰でもが簡単に最適な測定経路を選定することができ、測定時間の短縮化に寄与できる測定機における測定経路選定方法を提供する。【解決手段】 検出子と被測定物とを相対移動させながら、被測定物の各測定点で測定を行い、かつ、その相対移動経路に基づく測定点における測定手順情報を作成、記憶したのち、これらの測定点を含む測定領域MEを複数の区画C11〜C54に分割し、この複数の分割区画C11〜C54を予め定めた順番で結ぶ複数種の順路R1、R2に従った順番で前記測定点P1〜P7を順次連結して複数の測定経路候補を想定し、この複数の測定経路候補に対してシミュレーション時間分析を行って測定時間が最も短い測定経路候補を前記測定領域内の測定経路として選定する。
請求項（抜粋）：
検出子と被測定物とを予め選定した測定経路に沿って相対移動させながら、被測定物の各測定点で測定を行う測定機における測定経路選定方法において、前記検出子と被測定物とを相対移動させながら、被測定物の各測定点で測定を行い、かつ、その相対移動経路に基づく測定点における測定手順情報を作成、記憶したのち、これらの測定点を含む測定領域を複数の区画に分割し、この複数の分割区画を予め定めた順番で結ぶ複数種の順路に従った順番で前記測定点を順次連結して複数の測定経路候補を想定し、この複数の測定経路候補に対してシミュレーション時間分析を行って測定時間が最も短い測定経路候補を前記測定領域内の測定経路として選定する、ことを特徴とする測定機における測定経路選定方法。
Fターム (16件)：
2F069AA04
, 2F069AA06
, 2F069DD15
, 2F069GG01
, 2F069GG04
, 2F069GG07
, 2F069GG58
, 2F069GG62
, 2F069HH01
, 2F069HH11
, 2F069HH30
, 2F069JJ00
, 2F069JJ08
, 2F069JJ25
, 2F069JJ27
, 2F069MM36
