特許

J-GLOBAL ID：200903048730541765

磁気的に結合された搬送装置

発明者： 橘内 浩之 ,  妻木 伸夫 ,  高橋 主人 ,  本間 和男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-228326
公開番号（公開出願番号）：特開平6-100164
出願日： 1992年08月27日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：

【要約】【目的】強い伝達力を有し、剛性が大きく搬送中にウエハが振れない真空中またはガス雰囲気中で用いられる試料搬送装置を提供する。【構成】磁気結合型の搬送装置において、ウエハ1を搭載する搬送台2を案内要素14、15によって支持し、磁気結合部材12、13により発生する磁気結合力と搬送台2の自重とをキャンセルするように磁気結合部材12、13を配置する。また、磁気結合部材12、13間に隔壁3を設け、この隔壁3を薄板隔壁として、搬送台2と駆動体16の雰囲気を隔離するとともに、磁気結合力を大にする。。

請求項（抜粋）：

搬送路に案内要素により移動可能に支持された搬送台と、前記搬送台に設けた第1の磁気結合部材と、前記第1の磁気結合部材と前記搬送台とを隔てる隔壁と、この隔壁を介して前記第1の磁気結合部材に対向して配置された第2の磁気結合部材と、この第2の磁気結合部材を設けた駆動体と、前記駆動体を駆動する駆動手段とを備えた磁気的に結合された搬送装置において、前記第1の磁気結合部材と前記第2の磁気結合部材とから発生する磁気力が、前記搬送台の自重方向と逆向きになるように前記第1の磁気結合部材と前記第2の磁気結合部材とを配設したこと特徴する磁気的に結合された搬送装置。

IPC (3件)：

B65G 54/02 ,  B23Q 7/08 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平4-251026
  
• 特開平3-288725
  
• 特開昭62-140928
  
• 特開平1-274991
  
• 特開昭59-217601