特許

J-GLOBAL ID：200903048735621473

真空気密容器

発明者： 伊藤 茂生 ,  田中 源太郎 ,  利根川 武
出願人/特許権者： 双葉電子工業株式会社
代理人 (1件)： 脇 篤夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-156343
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320493
出願日： 1996年05月29日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】ベーキングによりゲッター能力が低下されないようにする。【解決手段】ゲッターボックス4内にベーキング時の温度でも十分に動作する第2ゲッターと、常温で動作する第1ゲッターとを収納する。ベーキング時には、第2ゲッターで吸蔵ガスを吸着し、常温に戻されたときに第1ゲッターで吸蔵ガスを吸着する。これにより、長期にわたり真空気密容器1内を高真空を維持することができる。

請求項（抜粋）：

常温を動作領域として動作するゲッター材料からなる第1のゲッターと、ベーキング時の温度が動作領域内とされるゲッター材料からなる第2のゲッターとが、内部に収納されていることを特徴とする真空気密容器。

IPC (3件)：

H01J 29/94 ,  H01J 7/18 ,  H01J 31/12

FI (3件)：

H01J 29/94 ,  H01J 7/18 ,  H01J 31/12 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭47-013265
  
• 特開昭58-045014
  
• 特開昭54-063573